| 用于红外焦平面阵列的等效像元电路设计 |
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| 引用本文： | 戴山彪,陈力颖,邢海英,王健,杨晓龙. 用于红外焦平面阵列的等效像元电路设计[J]. 激光与红外, 2015, 45(2): 171-175 |
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| 作者姓名： | 戴山彪 陈力颖 邢海英 王健 杨晓龙 |
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| 作者单位： | 天津工业大学电子与信息工程学院,天津 300387 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金项目（No.61204008）资助 |
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| 摘 要： | 提出了一种用于300×400红外焦平面阵列读出电路的等效像元电路结构。该电路与氧化钒(VOx薄膜)制成的微机械系统(MEMS)的电特性等效,并能够模拟MEMS像元改变时支路电流的变化。红外面阵探测器读出电路在流片后,生长MEMS物理结构(VOx薄膜)前,该等效像元电路结构用于读出电路的电性能测试,从而剔除不良品,减少封装成本。该电路采用了Global Foundry 0.35μm工艺设计并流片。测试结果表明,当积分电流为0~200nA时,该等效像元电路的电性能与MEMS像元一致。
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| 关 键 词： | 红外焦平面阵列 读出电路 微机械系统 等效像元电路 |
Design of equivalent pixel circuit for infrared focal plane array |
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| DAI Shan-biao,CHEN Li-ying,XING Hai-ying,WANG Jian,YANG Xiao-long. Design of equivalent pixel circuit for infrared focal plane array[J]. Laser & Infrared, 2015, 45(2): 171-175 |
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| Authors: | DAI Shan-biao CHEN Li-ying XING Hai-ying WANG Jian YANG Xiao-long |
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| Affiliation: | Tianjin Polytechnic University,School of Electronics and Information Engineering,Tianjin 300387,China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | infrared focal plane array read-out circuit micro-mechanical systems equivalent pixel circuit |
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