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NV—9701型真空灭弧室十六工位排气台研制
作者姓名:陆祖怀 钱淼汛
作者单位:宁波真空技术开发中心
摘    要:讨论了真空泵的匹配问题,改进了加热钟罩的设计,对多点温度控制使用了较为特殊的方法,结果表明,该设备完全满足工艺要求,能替代进口。

关 键 词:真空 灭弧室 排气台 真空断路器
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