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| 科技简讯 | |
| 引用本文： | 小平. 科技简讯[J]. 光机电信息, 2001, 0(5) |
| 作者姓名： | 小平 |
| 作者单位： | |
| 摘 要： | 微型激光扫描反射镜-采用微机械加工技术的下一代超小型扫描仪在微机械加工领域,目前人们更多关注的是如何使处于研究阶段的微型致动器逐渐达到实用化。因微型致动器最大的特点是超小型、高速、节能,且还可采用与半导体工艺极其接近的制造工艺实现批量生产。因 |
科技简讯 |
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| Abstract: | |
| Keywords: | |
| 本文献已被 CNKI 万方数据 等数据库收录！ | |
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