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| 特种陶瓷在半导体工业中的应用 | |
| 作者姓名： | 万冬梅 |
| 作者单位： | 佛山市陶瓷研究所,528031 |
| 摘 要： | 由于具备优越的机电和物理性能，特种陶瓷在半导体工业中得到日益广泛的应用。随着集成电路（Ｉｎｔｅ－ｇｒａｔｅｄ Ｃｉｒｃｕｉｔ，ＩＣ）向小型化、高速化和低成本方向发展，个导体设备制造商越来越依赖特种陶瓷部件才能使他们的设备满足ＩＣ工业的要求。用于半导体工业的特种陶瓷多数仍然采用传统的制备工艺，最大的不同是要求特种陶瓷具有很高的纯度，有时还对特种陶瓷的电性能要求苛刻。主要产品有各种密封环和圈，拱形盖，各种扩散炉衬里，各种销钉，晶片基板和衬托器，端面效应器，真空卡盘，见图１所示。 氧化物陶瓷 在半导体工… |
| 关 键 词： | 氧化物陶瓷 碳化物陶瓷 半导体工业 应用 氮化物陶瓷 |
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