| 基于CMOS亚阈值特性的低功耗温度传感器 |
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| 引用本文： | 张洵,王鹏,靳东明.基于CMOS亚阈值特性的低功耗温度传感器[J].半导体学报,2006,27(9):1676-1680. |
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| 作者姓名： | 张洵 王鹏 靳东明 |
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| 作者单位： | 清华大学微电子所，北京 100084;清华大学微电子所，北京 100084;清华大学微电子所，北京 100084 |
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| 基金项目： | 致谢 感谢徐志浩在本文的测试和写作过程中给予的支持和帮助. |
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| 摘 要： | 针对片上系统测温及其过温保护问题,提出了一种基于CMOS亚阈值特性制造的低功耗温度传感器.CSMC 0.6μm数模混合工艺仿真表明,其在-50～150℃的温度范围内,都能良好工作,且因为运放负反馈结构对电源电压具有较高的抑制,在2～6V的范围内都能得到正确的输出结果.芯片实测,温度灵敏度为0.77V/℃.因为基于CMOS亚阈值特性产生了电路的偏置电流,所以工作电流仅16μA.芯片面积300μm×250μm.该传感器的特性表明它非常适用于高容量的集成微系统中,在计算机、汽车电子、生物医学等领域有着广阔的应用前景.
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| 关 键 词： | 温度传感器 温度保护电路 电源电压抑止比 温度灵敏度 CMOS 亚阈值特性 低功耗 温度传感器 Characteristic Based Sensors 前景 应用 生物医学 汽车电子 计算机 微系统 集成 高容量 特性表 芯片面积 工作电流 偏置电流 电路 |
| 文章编号： | 0253-4177(2006)09-1676-05 |
| 收稿时间： | 3/9/2006 3:22:45 PM |
| 修稿时间： | 4/9/2006 1:03:52 PM |
Temperature Sensors Based on CMOS Sub-Threshold Characteristic |
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| Zhang Xun,Wang Peng and Jin Dongming.Temperature Sensors Based on CMOS Sub-Threshold Characteristic[J].Chinese Journal of Semiconductors,2006,27(9):1676-1680. |
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| Authors: | Zhang Xun Wang Peng and Jin Dongming |
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| Affiliation: | Institute of Microelectronics,Tsinghua University,Beijing 100084,China;Institute of Microelectronics,Tsinghua University,Beijing 100084,China;Institute of Microelectronics,Tsinghua University,Beijing 100084,China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | temperature sensor temperature protecting circuit power supply rejection ratio temperature sensitivity |
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