| TDR-70A型单晶炉的维护与常见故障分析 |
| |
| 引用本文： | 李留臣,杨润. TDR-70A型单晶炉的维护与常见故障分析[J]. 电子工业专用设备, 2003, 32(1): 51-56 |
| |
| 作者姓名： | 李留臣 杨润 |
| |
| 作者单位： | 西安理工大学,西安,710048 |
| |
| 摘 要： | 随着大规模集成电路和太阳能光伏电池的飞速发展,越来越多的TDR-70A型单晶炉投入了市场应用,为了充分发挥设备的能力,有必要对设备的维护及故障的排除有更深的了解,结合设备的结构特点阐述了TDR-70A型单晶炉的维护与常见故障分析,供大家参考。
|
| 关 键 词： | 单晶炉 人工晶体 硅单晶 |
| 文章编号： | 1004-4507(2003)01-0000-00 |
| 修稿时间： | 2002-11-20 |
TDR-70A crystal growth equipment''s maintenance |
| |
| LI Liu-chen,YANG Run. TDR-70A crystal growth equipment''s maintenance[J]. Equipment for Electronic Products Marufacturing, 2003, 32(1): 51-56 |
| |
| Authors: | LI Liu-chen YANG Run |
| |
| Abstract: | As a result of big size IC and solar recover cell speediness development, more and more TDR - 70A crystal growth equipment jump in market. For equipment capability exert, the equipment' s maintenance must needs. The paper expounds TDR - 70 A crystal growth equipment s maintenance, for reference to consumer. |
| |
| Keywords: | Crystal growth equipment manual crystal silicon crystal |
| 本文献已被 CNKI 维普 万方数据 等数据库收录！ |
|
