Ti—Al—N系功能梯度薄膜结合力的实验研究

用划痕法测试了不同成分的Ｔｉ－Ａｌ－Ｎ系功能梯度薄膜及其均质薄膜的膜基结合力。结果表明，Ｔｉ－Ａｌ－Ｎ系功能梯度薄膜的膜基结合力高于均质膜，且随着氮分压变化间隔的增加，结合力逐渐增大。基于膜基匹配及残余应力与结合力的关系，合理地解释了成分梯度对Ｔｉ－Ａｌ－Ｎ系功能梯度薄膜结合力的影响。