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| 光谱法精密测厚的应用设计 | |
| 引用本文： | 赵亿坤.光谱法精密测厚的应用设计[J].计量与测试技术,2009,36(2). |
| 作者姓名： | 赵亿坤 |
| 作者单位： | 新疆维吾尔自治区计量测试研究院,新疆,乌鲁木齐,830011 |
| 摘 要： | 介绍了利用激光光谱分析法测量介质厚度的一种高精度测量方法,与一般的测厚方法不同,测量越薄的介质.精度越高,并解释了其原理.通过激光垂直照射平板基体上的介质,利用光谱仪分析仪来精确测定相邻带波数差△(1/λ),利用简洁、方便的检测过程和计算,精确地得到介质的厚度. |
| 关 键 词： | 激光光谱 精密检测 厚度 暗波带 测量极限 |
The Application Design of Precise Measurement Thickness by the Spectrum Method |
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