同时具有电压输出和频率输出的集成压阻压力传感器

研制出了一种同时具有“电压输出和频率输出的集成压阻压力传感器。利用标准双极集成电路工艺制成了具有尺寸3×3.8mm~2的传感器芯片。对于从0到750MMHg的压力范围,输出电压工作幅宽为1到4伏。电压输出的压力灵敏度为4mv/mmHg。非线性度小于满量程的0.4％。对于750MMHg的压力变化,输出频率灵敏度约为30KHg。输出为T~2L电平。在-20到110℃的温度范围内灵敏度的温度系数为0.06％/℃。