混合集成电路生产中的统计工艺控制技术 |
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引用本文: | 严伟.混合集成电路生产中的统计工艺控制技术[J].电子工艺技术,1993(5):19-20,26. |
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作者姓名: | 严伟 |
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作者单位: | 机电部14所 南京210013 |
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摘 要: | 本文简述了统计工艺控制技术的基本原理,并将它应用在混合集成电路的生产中,从而大大提高了生产率和成品率。介绍了采用统计工艺控制技术对混合集成电路各主要生产流程,即制网(包括绷网、印刷和烧结)、芯片粘接、线焊、激光修调和管壳封焊中关键工艺参数的实时监测和控制,以保证有一个稳定的、处于最佳状态的工艺。
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关 键 词: | 混合集成电路 工艺 控制 丝网印刷 |
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