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磁控溅射制备非晶态TiO2-V薄膜的光催化性能研究
引用本文:黄佳木,蔡小平,赵培,李月霞. 磁控溅射制备非晶态TiO2-V薄膜的光催化性能研究[J]. 真空科学与技术学报, 2009, 29(2)
作者姓名:黄佳木  蔡小平  赵培  李月霞
作者单位:重庆大学材料科学与工程学院,重庆,400045
摘    要:采用磁控溅射方法,在玻璃基片上制备v掺杂非晶态TiO2薄膜,研究了射频掺杂功率、基片温度以及薄膜厚度等因素对薄膜光催化性能的影响.x射线衍射(XRD)及x光电子能谱(XPs)分析表明:薄膜为非晶态,薄膜主要成分为钛(Ti)和钒(V),其比例为8.7:l.光催化降解10mg/L的亚甲基蓝溶液实验表明:随着薄膜厚度的增加,光催化降解率递增,当厚度达129nm时,薄膜对亚甲基蓝的降解率为83.36%.

关 键 词:非晶态TiO2-V薄膜  光催化  亚甲基蓝  磁控溅射

Photocatalytic Degradation of Amorphous TiO2-V films Grown by Magnetron Sputtering
Huang Jiamu,Cai Xiaoping,Zhao Pei,Li Yuexia. Photocatalytic Degradation of Amorphous TiO2-V films Grown by Magnetron Sputtering[J]. JOurnal of Vacuum Science and Technology, 2009, 29(2)
Authors:Huang Jiamu  Cai Xiaoping  Zhao Pei  Li Yuexia
Abstract:
Keywords:
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