| 二维快速控制水冷反射镜装置设计 |
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| 引用本文： | 邵帅,高云国,郭劲,宣明. 二维快速控制水冷反射镜装置设计[J]. 光学精密工程, 2009, 17(3) |
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| 作者姓名： | 邵帅 高云国 郭劲 宣明 |
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| 作者单位： | 中国科学院,长春光学精密机械与物理研究所,吉林,长春,130033;中国科学院,研究生院,北京,100039;中国科学院,长春光学精密机械与物理研究所,吉林,长春,130033 |
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| 基金项目： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所创新工程资助项目 |
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| 摘 要： | 为了进一步精确控制激光发射方向,减少反射镜热畸变以提高光束质量,设计了一种新型二维快速控制水冷反射镜装置.根据高功率激光反射镜的设计和制作原则,对反射镜的材料性能进行了分析,采用主动水冷铜镜来减小镜面热畸变使镜面变形控制在0.1 μm以内.然后,分别从机械结构、驱动器和控制系统、角度检测元件3方面设计了反射镜装置,其x-y轴框架式的机械结构形式,可减小反射镜的冷却水管对轴系回转精度的影响,使回转精度＜2″.实验测试结果表明,二维快速控制水冷反射镜装置工作稳定、可靠,控制光束稳定的精度＜1″,可满足对激光传输方向的精确实时控制和对光束整体倾斜方向进行校正等要求.
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| 关 键 词： | 高能激光系统 快速控制反射镜 水冷 音圈电机 |
Design of two-dimensional fast-steering cooling mirror equipment |
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| SHAO Shuai,GAO Yun-guo,GUO Jin,XUAN Ming. Design of two-dimensional fast-steering cooling mirror equipment[J]. Optics and Precision Engineering, 2009, 17(3) |
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| Authors: | SHAO Shuai GAO Yun-guo GUO Jin XUAN Ming |
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| Affiliation: | 1.Changchun Institute of Optics;Fine Mechanics and Physics;Chinese Academy of Sciences;Changchun 130033;China;2.Graduate University of Chinese Academy of Sciences;Beijing 100039;China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | high energy laser system fast steering mirror water cooling voice coil motor |
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