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| 高温压阻式压力传感器的制作 | |
| 引用本文： | 叶青,吴仲达.高温压阻式压力传感器的制作[J].国外传感技术,2004,14(5):162-165. |
| 作者姓名： | 叶青 吴仲达 |
| 摘 要： | 在工业和实验室的许多应用中，需要在高温环境状态下测量压力，因而迫切要求开发研制出可供实用的压力传感器．在很多使用场合，对传感器还有体积小的要求．本文介绍一种用SOS(蓝宝石上外延硅)工艺制成的压阻式压力传感器，可在高达425℃的温度状态下使用而不需要冷却，这种传感器可对高达200bar(巴)的压力作静态和动态测量，满量程输出信号约为500mV(半桥)。 |
| 关 键 词： | 压阻式压力传感器 体积小 输出信号 制作 状态 制成 动态测量 高温环境 要求 SOS |
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