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| 微型气相色谱柱芯片研究进展 | |
| 引用本文： | 张海燕,赵斌,曹可,李磊,郑丹,冯飞.微型气相色谱柱芯片研究进展[J].传感器与微系统,2022(3):1-6,11. |
| 作者姓名： | 张海燕 赵斌 曹可 李磊 郑丹 冯飞 |
| 摘 要： | 微型气相色谱仪可对复杂气体组分进行现场、实时、快速地定性和定量分析.微型气相色谱柱芯片作为微型气相色谱仪的核心部件之一,决定了其分离性能的好坏.微机电系统(MEMS)技术的发展为制造微型气相色谱柱芯片提供了有效的加工技术、可灵活选择的衬底材料,甚至可以通过MEMS技术制备均匀的固定相,从而获得具有更好分离性能的微型气相... |
| 关 键 词： | 气相色谱 微机电系统 微型气相色谱柱芯片 |