道康宁公司电子部推出XR-1541电子束光刻剂聚集下一代光刻技术

2008年6月27日全球材料、应用技术及服务综合供应商美国道康宁公司电子部（Dow Corning Electronics）的硅晶片光刻解决方案事业部宣布正式开始供应Dow Coming（r）XR-1541电子束光刻剂，该产品是专为实现下一代、直写光刻工艺技术开发所设计。这一新型先进的旋涂式光刻剂产品系列以电子束取代传统光源产生微影图案，可提供图形定义小至6nm的无掩模光亥4技术。