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| 金属膜吸附力的测量 | |
| 作者姓名： | 吴茂林 |
| 摘 要： | 根据实验得知室温下真空镀制金属膜(Ag、Cu、Al)的吸附力均有(2～3)×10~7牛顿/平方米。对于 Ag 膜,吸附力与膜厚及基片温度无关;对于 Al 膜,吸附力与膜厚无关,但与基片温度有关,吸附力有随温度上升而增加的倾向,在200℃的吸附力达到6.8×10~7牛顿/平方米;Cu 膜大致为 Ag 和Al 膜的中间值。下面介绍在蒸镀前用气体放电对基片进行离子轰击时,对 Ag 膜的吸附力所产生的离子效应,吸附力与离子轰击时间的关系以及时效变化。一、试片的制作及测量方法在镀膜机的真空室里装上放电电极,其 |
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