| 基于视觉对准的非硅MEMS 微小型结构件微装配系统 |
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| 引用本文： | 周智,张之敬,张晓峰,唐永龙.基于视觉对准的非硅MEMS 微小型结构件微装配系统[J].兵工自动化,2013,32(5):79-81. |
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| 作者姓名： | 周智 张之敬 张晓峰 唐永龙 |
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| 作者单位： | 北京理工大学机械与车辆学院,北京,100081;北京理工大学机械与车辆学院,北京,100081;北京理工大学机械与车辆学院,北京,100081;北京理工大学机械与车辆学院,北京,100081 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目(51127004)；国防基础研究资助项目 |
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| 摘 要： | 为满足非硅MEMS微小型结构件的高精度柔性装配需求,设计一种基于正交光路分时成像视觉对准的机器人串行微装配系统。介绍目前微小型结构、非硅MEMS和机器人微装配系统的发展概况,给出其总体结构组成及典型装配过程,重点分析视觉对准系统摄像机标定方法,对标定误差进行分析,最后对装配系统进行非硅MEMS典型零件装配实验分析。结果表明:所设计的装配系统视觉系统检测精度≤5.5μm,能满足一般精度的非硅MEMS微小型结构件装配要求。
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| 关 键 词： | 非硅MEMS 微小型结构 微装配 摄像机标定 |
| 收稿时间： | 2013/10/23 0:00:00 |
Micro-Assembly System for Non-Silicon MEMS Micro Devices Based on Vision Alignment |
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| Zhou Zhi
,
Zhang Zhijing
,
Zhang Xiaofeng
,
Tang Yonglong.Micro-Assembly System for Non-Silicon MEMS Micro Devices Based on Vision Alignment[J].Ordnance Industry Automation,2013,32(5):79-81. |
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| Authors: | Zhou Zhi Zhang Zhijing Zhang Xiaofeng Tang Yonglong |
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| Affiliation: | (School of Mechanical & Vehicle,Beijing Institute of Technology,Beijing 100081,China) |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | non-silicon MEMS micro devices micro-assembly camera calibration |
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