| 金刚石砂轮表面形貌测量系统 |
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| 引用本文： | 崔长彩,余卿,张遨,李瑞旭,黄辉,王爽.金刚石砂轮表面形貌测量系统[J].光学精密工程,2014,22(12):3167-3174. |
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| 作者姓名： | 崔长彩 余卿 张遨 李瑞旭 黄辉 王爽 |
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| 作者单位： | 华侨大学机电及自动化学院,福建厦门,361021 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目(No.51075160);教育部新世纪优秀人才支持计划资助项目(No.NCET-10-0116);教育部长江学者和创新团队发展计划资助项目(No.PCSIRT1063) |
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| 摘 要： | 为了实现对金刚石砂轮表面形貌的非接触精密测量,开发了基于干涉原理的金刚石砂轮表面形貌专用测量系统,研究了该系统的测量原理和关键技术。根据垂直扫描白光干涉显微测量原理以及被测对象的特征,提出了适用于砂轮测量的方法,研究了系统的自动扫描范围、垂直方向的扫描方法、单次测量三维表面的恢复算法和磨粒的识别算法。结合自行设计的夹具搭建了砂轮测量系统,并对多次测量拼接算法进行了实验分析。实验结果表明:基于区域重合大小(重合度为30%~50%)的拼接算法获得的拼接前后重合区域的相关系数均大于0.8,拼接后重合区域的高度差均小于0.4μm。得到的结果显示所搭建的系统可以恢复砂轮的形貌,其测量范围和精度满足砂轮磨粒评定和分析的要求。
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| 关 键 词： | 金刚石砂轮 表面形貌测量 白光干涉仪 曲面拼接 |
Measurement system of surface topography for diamond grinding wheel |
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| CUI Chang-cai
,
YU Qing
,
ZHANG Ao
,
LI Rui-xu
,
HUANG Hui
,
WANG Shuang.Measurement system of surface topography for diamond grinding wheel[J].Optics and Precision Engineering,2014,22(12):3167-3174. |
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| Authors: | CUI Chang-cai YU Qing ZHANG Ao LI Rui-xu HUANG Hui WANG Shuang |
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| Affiliation: | CUI Chang-cai;YU Qing;ZHANG Ao;LI Rui-xu;HUANG Hui;WANG Shuang;College of Mechanical Engineering and Automation,Huaqiao University; |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | diamond grinding wheel surface topography white light interferometer surface stitching |
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