化学法制备光学薄膜及其应用 |
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引用本文: | 沈军,王珏,吴广明,倪星元,周斌,陈玲燕. 化学法制备光学薄膜及其应用[J]. 原子能科学技术, 2002, 36(4): 305-308 |
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作者姓名: | 沈军 王珏 吴广明 倪星元 周斌 陈玲燕 |
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作者单位: | 同济大学,波耳固体物理研究所,上海,200092 |
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基金项目: | 国家自然科学基金重点项目(20133040)及面上项目(59802007,69978017);上海市科技启明星计划资助项目(99QE14041);教育部高等学校骨干教师基金资助项目;国家"863"激光技术青年科学基金资助项目(2000-12);红外物理国家重点实验室开放基金资助项目 |
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摘 要: | 概要综述了用化学法制备光学薄膜的浸渍镀膜法、旋转镀膜法、喷溅镀膜法、流延法、弯月面镀膜法和涂布镀膜法等方法,及其薄膜特性,诸如折射率、激光损伤阈值、机械强度等的控制技术,并展望了某些新型光学薄膜的应用前景。
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关 键 词: | 制备 光学薄膜 应用 化学法 性能 浸渍镀膜法 旋转镀膜法 喷溅镀膜法 流延法 |
文章编号: | 1000-6931(2002)04/05-0305-04 |
修稿时间: | 2001-08-25 |
Techniques and Applications of Sol-gel Derived Coatings |
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