高纯钽及如溅射靶的含高纯钽的制品 |
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摘 要: | 本发明涉及高纯钽和舍有高纯钽的合金。钽金属优选具有至少99.995%的纯度,更优选具有至少99.999%的纯度。另外,本发明涉及钽金属及其舍金,这种钽金属及其合金具有约50微米或更低的粒度;或者具有这样的织构:任意5%厚度增量内,强度低于约15random或强度的对数比大于约一4.0;或者具有这些性质的任意组合。本发明同样涉及由钽金属制成的物品和元件,包括但不限于溅射靶、电容器外壳、电阻膜层、导线等。本发明还涉及制备高纯钽金属的方法,
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关 键 词: | 溅射靶 高纯 钽 制品 电容器外壳 金属 发明 合金 纯度 优选 |
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