提高合成三氯氢硅转化率的研究

三氯氢硅作为制取多晶硅的原料,合成三氯氢硅的转化率直接影响三氯氢硅产品的质量和产量以及生产成本。目前,国内大多数三氯氢硅合成的转化率在80%左右,本文结合生产实际,针对合成转化率进行研究,提高其转化率,降低生产成本。