| 压电超精密定位台的动态迟滞建模研究 |
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| 引用本文： | 杨晓京,李庭树,刘浩.压电超精密定位台的动态迟滞建模研究[J].仪器仪表学报,2017,38(10):2492-2499. |
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| 作者姓名： | 杨晓京 李庭树 刘浩 |
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| 作者单位： | 昆明理工大学机电工程学院昆明650500,昆明理工大学机电工程学院昆明650500,昆明理工大学机电工程学院昆明650500 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金(51365021)项目资助 |
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| 摘 要： | 为了提高压电超精密定位台的建模精度,采用Backlash-Like迟滞非线性模型来描述压电超精密定位台的迟滞特性,采用基于遗传因子的递推最小二乘法来辨识Backlash-Like模型的参数,并结合压电超精密定位台的动态特性,建立了压电超精密定位台的二阶动态迟滞模型。通过实验得到,对比Backlash-Like模型,动态迟滞模型在频率为30和40 Hz时,最大输出位移误差由1.21和1.39μm下降到0.32和0.44μm,且最大相对误差分别仅为3.5%和4.4%,平均位移误差由0.53和0.76μm下降到0.17和0.21μm,平均相对误差由1.93%和3.38%下降到1.11%和1.37%。实验结果验证了提出的动态迟滞模型,既能减小了因压电超精密定位台的动态特性而引起的系统误差,又能很好地模拟其迟滞特性与动态特性,并且避免了不同频率下的模型参数反复辨识问题,提高了压电超精密定位台在高频、快速、大行程定位中的精度。该方法简单且适应性强,易于工程实现。
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| 关 键 词： | 压电超精密定位台 Backlash Like迟滞模型 遗传因子的递推最小二乘法 动态模型 |
Dynamic hysteresis modeling of piezoelectric ultra precision positioning stage |
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| Yang Xiaojing,Li Tingshu and Liu Hao.Dynamic hysteresis modeling of piezoelectric ultra precision positioning stage[J].Chinese Journal of Scientific Instrument,2017,38(10):2492-2499. |
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| Authors: | Yang Xiaojing Li Tingshu and Liu Hao |
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| Affiliation: | School of Mechanical and Electrical Engineering, Kunming University of Science and Technology, Kunming 650500,China,School of Mechanical and Electrical Engineering, Kunming University of Science and Technology, Kunming 650500,China and School of Mechanical and Electrical Engineering, Kunming University of Science and Technology, Kunming 650500,China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | piezoelectric ultra precision positioning stage Backlash Like hysteresis model recursive least square (RLS) based on genetic algorithm Dynamic model |
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