| 用于三维光学信息存储和微细加工研究的共焦激光扫描荧光显微镜 |
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| 引用本文： | 周拥军,唐火红,蒋中伟,黄文浩,夏安东,刘允萍,褚家如.用于三维光学信息存储和微细加工研究的共焦激光扫描荧光显微镜[J].电子显微学报,2003,22(6):551-552. |
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| 作者姓名： | 周拥军 唐火红 蒋中伟 黄文浩 夏安东 刘允萍 褚家如 |
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| 作者单位： | 1. 中国科学技术大学精密机械及精密仪器系,安徽,合肥,230026
2. 中国科学技术大学精密机械及精密仪器系,安徽,合肥,230026;中国科学院化学研究所分子反应动力学实验室,北京,100800 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目 (No .5 0 2 75 14 0 )，中国科学院引进国外杰出人才项目资助 |
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| 摘 要： | 目前，利用双光子及共聚焦显微镜来进行三维光学高密度信息存储及三维光学微细加工正逐渐成为信息存储、微型电子器件和光子器件研究的重要方法。共焦光学系统具有三维分层扫描成像的能力，能有效地避免邻层的干扰，并与CD播放机有极好的兼容性，因而成为重要的三维光学数据读出方法。
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| 关 键 词： | 三维光学信息存储 共焦激光扫描荧光显微镜 扫描方式 共焦光学系统 三维分层扫描成像 高分辨率 |
Confocal laser scanning fluorescence microscope for three-dimensional optical data storage and microfabrication |
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