| 基于MEMS 的湿度检测仪的研 |
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| 引用本文： | 张中平. 基于MEMS 的湿度检测仪的研[J]. 传感技术学报, 2003, 16(2): 113-116 |
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| 作者姓名： | 张中平 |
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| 作者单位： | 东南大学MEMS教育部重点实验室,南京,210096 |
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| 基金项目： | 江苏省科技项目资助 :BG2 0 0 10 35，东南大学科学基金资助 92 0 6 0 0 10 85 |
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| 摘 要： | 所研制的气象仪是一种基于多传感头集成的MEMS系统，可用于测量温湿度、风速、风向和气压的便携式气象检测仪器，同时由于加强玛技术的使用，使得该仪器整体电路简单可靠，而且体积小，携带方便。本文主要介绍湿度检测部分。
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| 关 键 词： | MEMS 湿度检测仪 微电子机械系统 传感器 变送器 气象仪 |
| 文章编号： | 1004-1699(2003)02-0113-04 |
| 修稿时间： | 2002-12-03 |
Fabrication of Humidity Measurement Instrument Based on MEMS |
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| ZHANG Zhongpi. Fabrication of Humidity Measurement Instrument Based on MEMS[J]. Journal of Transduction Technology, 2003, 16(2): 113-116 |
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| Authors: | ZHANG Zhongpi |
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| Affiliation: | Micr oelectronics Center , Southeast University , Nanj ing 210096, P . R. China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | MEMS sensors transducer weather instrument humidity |
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