| 悬挂式气敏元件的热功耗和超低热功耗元件探讨 |
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| 引用本文： | 曲鲁,兰怀迎,刘文利,刘建同,刘东红. 悬挂式气敏元件的热功耗和超低热功耗元件探讨[J]. 郑州轻工业学院学报(自然科学版), 2000, 15(4): 34-36 |
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| 作者姓名： | 曲鲁 兰怀迎 刘文利 刘建同 刘东红 |
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| 作者单位： | 1. 济南半导体研究所,山东,济南,250012
2. 山东大学,数理系,山东,济南,250061 |
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| 摘 要： | 通过理论和实验相结合的方法提出了一个适用于悬挂式气敏元件的热功耗Ph/mW与工作温度T0,环境温度Tr及芯片尺寸S的关系式Ph={5.67×10-11[(T0)4-(T0)4]×0.85+0.21(T0-T0)}S(T0=aT0+bTr,a≈0.135,b≈1.0)并指出采用Si微电子薄膜技术可设计出功耗在10 mW以下的气敏元件.
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| 关 键 词： | 气敏器件 微电子技术 温度 热功耗 微型薄膜 |
| 文章编号： | 1004-1478(2000)04-0034-03 |
| 修稿时间： | 2000-07-10 |
Discussion on thermal-power consumption of suspended gas sensors and ultralow thermal-power consumption device |
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| QU Lu,LAN Huai-ying,LIU We n-li,LIU Jian-tong,LIU Dong-hong. Discussion on thermal-power consumption of suspended gas sensors and ultralow thermal-power consumption device[J]. Journal of Zhengzhou Institute of Light Industry(Natural Science), 2000, 15(4): 34-36 |
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| Authors: | QU Lu LAN Huai-ying LIU We n-li LIU Jian-tong LIU Dong-hong |
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| Affiliation: | QU Lu1,LAN Huai-ying1,LIU We n-li2,LIU Jian-tong2,LIU Dong-hong2 |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | gas sensitive devices microelectronic techniques temperture thermal-power consumption |
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