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| 微型靶件装配中自动对焦方法的研究 | |
| 引用本文： | 王海强,李杏华,张林,吴文荣. 微型靶件装配中自动对焦方法的研究[J]. 传感器与微系统, 2012, 31(7): 20-22 |
| 作者姓名： | 王海强 李杏华 张林 吴文荣 |
| 作者单位： | 1. 中国工程物理研究院激光聚变研究中心,四川绵阳621900;天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室,天津300072 2. 天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室,天津,300072 3. 中国工程物理研究院激光聚变研究中心,四川绵阳,621900 |
| 摘 要： | 惯性约束激光聚变(ICF)实验对微靶的装配精度要求越来越高,基于机器视觉的在线监测系统是微靶零件测量的主要手段。精确的光学聚焦是进行稳定、高精度测量的前提。提出了一种基于三维精密位移平台的主动对焦方法。通过实验选取了合适的清晰度评价函数。采用大步长找区域,小步长找点的搜索策略,实现了系统的快速精确对焦,调焦精度可优于10μm,总体调焦时间约为30 s。克服了手动调焦时间长,不能保证成像完全清晰的问题。 |
| 关 键 词： | 惯性约束激光聚变 显微测量 自动对焦 步进运动 |
Research on auto-focus method for microtarget assembly |
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| WANG Hai-qiang , LI Xing-hua , ZHANG Lin , WU Wen-rong. Research on auto-focus method for microtarget assembly[J]. Transducer and Microsystem Technology, 2012, 31(7): 20-22 | |
| Authors: | WANG Hai-qiang LI Xing-hua ZHANG Lin WU Wen-rong |
| Affiliation: | 1(1.Laser Fusion Research Center,China Academy of Engineering Physics,Mianyang 621900,China; 2.State Key Laboratory of Precision Measuring Technology and Instruments,Tianjin University, Tianjin 300072,China) |
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