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光能量场分布的MATLAB仿真
引用本文:刘学杰,李智,张安萍.光能量场分布的MATLAB仿真[J].表面技术,2012,41(1):75-78.
作者姓名:刘学杰  李智  张安萍
作者单位:内蒙古科技大学机械工程学院,包头,014010;内蒙古科技大学机械工程学院,包头,014010;内蒙古科技大学机械工程学院,包头,014010
基金项目:国家自然科学基金,内蒙古教育厅科研基金,内蒙古自然科学基金重点项目
摘    要:为在物理气相沉积过程中获得理想的晶粒尺寸,介绍了一种精确控制纳米晶粒尺寸的微观控制方法,即用光的干涉方法控制能量场分布。利用MATLAB的循环计算能力计算光的矢量叠加,仿真光的干涉,分别对杨氏干涉、三光源干涉以及多光源不同排布的干涉进行分析。经过分析可知:3个或3个以上的光源线性排列时,得到的条纹是将两光源的条纹打碎;而多个光源按正多边形排列的干涉,规律排布区域出现在光源围成的区域中间,3个、4个及6个光源规律排布区域中加强点的间距分别为λ/槡3,λ/槡2和2λ;若要得到1cm2规律排布区域,3个光源与规律排布区域中心的距离为0.1m,4个光源则为1m。

关 键 词:物理气相沉积  晶粒尺寸  杨氏干涉  多光源干涉  矢量叠加  MATLAB
收稿时间:2011/8/23 0:00:00
修稿时间:2012/2/20 0:00:00

Simulation of Distribution of Light Energy Field on MATLAB
LIU Xue-ji,LI Zhi and ZHANG An-ping.Simulation of Distribution of Light Energy Field on MATLAB[J].Surface Technology,2012,41(1):75-78.
Authors:LIU Xue-ji  LI Zhi and ZHANG An-ping
Affiliation:(Mechanical Engineering school,Inner Mongolia University of Science & Technology,Baotou 014010,China)
Abstract:In order to obtain the ideal grain size in PVD process,a precise control of nano-grain size of micro-control method,and precise control of grain size of the micro-control method was introduced.Using MATLAB’s powerful ability to circulation calculated,and using vector overlay character of light,the interference of light was simulated.the young’s interference,the three-source interference and the multi-sources interference were researched and analyzed.By analysis the rule of stripes of interference is got.If the light sources are in a linear arrangement,the stripes will be chaotic.And if the light sources are arranged in regular polygon,the stripes in middle of sources are regular.And the strengths distance of three sources is λ/3,four is λ/2,six is 2λ.If the size of regular area is 1 cm2,the distance of source is 0.1 m(three sources) and 1 m(four sources).
Keywords:physical vapor deposition  grain size  young’s interference  multi-sources interference  vector overlay  MATLAB
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