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| 集成电路工艺技术及其应用的发展趋势 | |
| 作者姓名： | 郭树田 |
| 作者单位： | 信息产业部第24所 |
| 摘 要： | 扼要介绍了通常的硅ＣＭＯＳ、双极和ＢｉＣＭＯＳ技术以及ＧａＡｓ、ＧｅＳｉ技术的发展趋势，同时也介绍了高速集成技术发展中引入的一些新技术。 |
| 关 键 词： | 集成电路 微电子 MOS 双极 GaAs BiCMOS |
| 本文献已被 维普 等数据库收录！ | |
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