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肖特基栅型共振隧穿晶体管的制作研究
引用本文:胡留长,郭维廉,张世林,梁惠来,宋瑞良.肖特基栅型共振隧穿晶体管的制作研究[J].固体电子学研究与进展,2007,27(1):28-31.
作者姓名:胡留长  郭维廉  张世林  梁惠来  宋瑞良
作者单位:天津大学电子信息工程学院,天津,300072
基金项目:专用集成电路国家重点实验室基金
摘    要:已研制成了肖特基栅共振隧穿晶体管,在双势垒结构上蒸发铂金形成栅。通过调制准二维电子积累层的面积进而达到控制隧穿电流的目的。并对发射极正反接电压不同而出现的不同调制现象进行了分析。

关 键 词:共振隧穿晶体管  肖特基栅  负阻
文章编号:1000-3819(2007)01-028-04
修稿时间:2006-02-28

Study of the Fabrication of Schottky-gated Resonant Tunneling Transistor
HU Liuchang,GUO Weilian,ZHANG Shilin,LIANG Huilai,SONG Ruiliang.Study of the Fabrication of Schottky-gated Resonant Tunneling Transistor[J].Research & Progress of Solid State Electronics,2007,27(1):28-31.
Authors:HU Liuchang  GUO Weilian  ZHANG Shilin  LIANG Huilai  SONG Ruiliang
Affiliation:School of Electronic Information Engineering. Tianjin University, Tianjin, 300072. CHN
Abstract:A Schottky gate resonant tunneling transistor(RTT) is fabricated.The gate is formed by electroplating Pt/Au onto the side of an double barrier structure.The gate voltage modulates the tunneling current by modulating the area of the quasi-two-dimensional electron accumulation layer.The different modulation results with different voltage on emitter were analized.
Keywords:resonant tunneling transistor  schottky gate  negative resistance
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