RTR(Roll to Roll)方式制作25μm/25μmCOF精细线路的参数优化 |
| |
作者姓名: | 刘尊奇 张胜涛 何为 莫芸绮 周国云 倪乾峰 金轶 何波 陈浪 王淞 林均秀 |
| |
作者单位: | 1. 重庆大学化学化工学院,四川,重庆,400000 2. 电子科技大学应用化学系,四川,成都,610054 3. 珠海元盛电子科技有限公司技术中心,广东,珠海,519060 |
| |
基金项目: | 粤港关键领域重点突破项目 |
| |
摘 要: | 随着电子产品小型化和液晶显示器IC封装技术的快速发展,COF(Chipon Film)技术的应用市场得到了迅速扩大。按照片式减成方法制作的线宽/线距在50μm/50μm以下的精细线路,常常会出现导线过细或断线等缺陷。论文采用目前先进的RTR(Roll to Roll)生产工艺,选用12μm钢箔、15μm干膜,使用玻璃菲林进行图形转移,并运用正交设计法对影响精细线路品质的曝光能量、显影速度、蚀刻速度、蚀刻压力等因素进行优化试验。以精细线路的线宽和蚀刻系数作为评价标准,找出最佳参数,并分析了蚀刻压力对精细线路的影响机理。将最优化参数应用到生产中,使25μm/25μm的COF精细线路的成品率提高20%。最终实现25μm/25μm的COF精细线路的小批量生产。
|
关 键 词: | RTR 精细线路 COF 正交设计法 |
本文献已被 维普 万方数据 等数据库收录! |
|