| 扫描隧道显微镜中的扫描驱动器 |
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| 引用本文： | 路小波,陆祖宏,周庆,王国著. 扫描隧道显微镜中的扫描驱动器[J]. 压电与声光, 1999, 21(6): 431-432,566 |
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| 作者姓名： | 路小波 陆祖宏 周庆 王国著 |
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| 作者单位： | 东南大学,吴健雄实验室,南京,210096 |
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| 摘 要： | 概述了扫描隧道显微镜的工作原理，给出了采用压电材料的扫描控制方案及获取样品表面形貌信号的方法，介绍了系统中的ｚ扫描驱动器，ｘｙ扫描驱动器（扫描平台）及其非线性修正方法。
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| 关 键 词： | 扫描隧道显微镜 压电材料 扫描驱动器 |
Scanning Actuators in Scanning Tunneling Microscope |
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| LU Xiao-bo,LU Zu-hong,ZHOU Qing,WANG Guo-zhu. Scanning Actuators in Scanning Tunneling Microscope[J]. Piezoelectrics & Acoustooptics, 1999, 21(6): 431-432,566 |
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| Authors: | LU Xiao-bo LU Zu-hong ZHOU Qing WANG Guo-zhu |
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| Abstract: | This paper outlines the principle of scanning tunneling microscope, presents thescheme of scanning control using piezoelectric material and the way to obtain the signal of specimen shape, and introduces the scanning driver in z direction, scanning platform and its nonlineari- ty correction. |
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| Keywords: | scanning tunneling microscope piezoelectric material eletrostrictive material actuator |
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