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Fuji Film Arch投资30亿日元扩产电子用光刻胶
作者姓名:
徐维正
摘 要:
Fuji Film Arch计划投资30亿日元(2680万美元)扩建半导体、LCD等电子器件用光刻胶的生产能力,为此,该公司将于2004年春夏期间完成在日本静冈工厂的新装置建设。根据计划,芯片生产用KrF光刻胶产能将增加3倍,而半导体用ArF光刻胶将兴建工业规模装置生产,滤色器用光刻胶产能将扩大50%。
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