| 基于压电陶瓷光电相移驱动的大行程纳米定位系统 |
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| 引用本文： | 许素安,谢敏,孙坚,陈乐,王桂荣.基于压电陶瓷光电相移驱动的大行程纳米定位系统[J].光学精密工程,2014,22(10). |
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| 作者姓名： | 许素安 谢敏 孙坚 陈乐 王桂荣 |
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| 作者单位： | 中国计量学院机电工程学院,浙江杭州,310018 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目，浙江省钱江人才计划资助项目，第45批教育部留学回国启动基金 |
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| 摘 要： | 由于压电陶瓷驱动器作纳米定位控制系统驱动元件会导致定位过程中出现超调及振荡现象,故提出了一种新的基于外差干涉仪和自制高频相移电路的光电相移压电陶瓷驱动方法。实验论证了在严格控制的实验环境下,压电陶瓷能实现自主位置锁定并以纳米量级步距值被逐步推进。步距值可控的压电陶瓷驱动器与商用宏动平台结合,可实现纳米精度重复性的大行程定位系统。实验结果表明,对于5mm往返行程的位移,在靠近目标处执行理论值为5nm步距值的步进位移时,系统的定位重复性精度小于1nm。该定位方法规避了压电陶瓷的机械非线性误差,具有系统架构简单,定位速度快等优点,可应用于当前纳米科技和超精密加工等领域。
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| 关 键 词： | 纳米定位系统 外差干涉仪 压电陶瓷执行器 高频相移电路 宏、微二级运动 |
Long range nano-positioning system based on optoelectronic phase-shift for piezoelectric actuator |
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| XU Su-an,XIE Min,SUN Jian,CHEN Le,WANG Gui-rong.Long range nano-positioning system based on optoelectronic phase-shift for piezoelectric actuator[J].Optics and Precision Engineering,2014,22(10). |
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| Authors: | XU Su-an XIE Min SUN Jian CHEN Le WANG Gui-rong |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | nano-positioning system heterodyne interferometer piezoelectric actuator high frequency phase-shifting circuit macro-micro dual movement |
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