| 真空封装硅微陀螺品质因数的标定 |
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| 引用本文： | 王玉朝,滕霖,孙香政,王刚,郭志想,余才佳. 真空封装硅微陀螺品质因数的标定[J]. 光学精密工程, 2014, 22(10) |
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| 作者姓名： | 王玉朝 滕霖 孙香政 王刚 郭志想 余才佳 |
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| 作者单位： | 中国航空工业集团西安飞行自动控制研究所,陕西西安,710065 |
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| 基金项目： | 国家863高技术研究发展计划资助项目，国家国际科技合作专项资助项目 |
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| 摘 要： | 建立了真空封装陀螺的无激励欠阻尼二阶系统模型,用于测量真空封装硅微陀螺的品质因数。对该模型进行理论推导,提出了一种时延常数测试方法。该方法首先利用锁相环路,驱动陀螺实现闭环谐振,获得较大的初始振幅。然后关断激励信号,通过放大电路和解调电路,记录硅微陀螺振荡幅值的衰减过程;用计算机通过Matlab GUI实时采集并拟合振幅衰减曲线,获得时间常数。最后,通过时间常数解算获得真空封装硅微陀螺的品质因数。对真空封装硅微陀螺品质因数的实验测试结果表明:该方法实测数据与理论分析模型的拟合度为99.999%,测试重复性为4.03%,优于传统的扫频测试法的重复性。对比时延常数法与锁相放大器扫频测试法的测试数据显示:时延常数法具有更高的测量精度和更高的测试效率。该方法可以推广到其它高真空封装MEMS器件的品质因数测量。
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| 关 键 词： | 硅微陀螺 真空封装 品质因数 标定 时延常数法 扫频法 |
Quality factor measurement of vacuum-packaged microgyroscopes |
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| WANG Yu-zhao,TENG Lin,SUN Xiang-zheng,WANG Gang,GUO Zhi-xiang,YU Cai-jia. Quality factor measurement of vacuum-packaged microgyroscopes[J]. Optics and Precision Engineering, 2014, 22(10) |
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| Authors: | WANG Yu-zhao TENG Lin SUN Xiang-zheng WANG Gang GUO Zhi-xiang YU Cai-jia |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | microgyroscope vacuum packaging quality factor calibration decay constant method frequency sweeping method |
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