| 小型化火花预电离TEA CO2激光器的实验研究 |
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| 引用本文： | 王元虎,曲彦臣,赵卫疆,任德明. 小型化火花预电离TEA CO2激光器的实验研究[J]. 红外与激光工程, 2007, 36(Z1) |
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| 作者姓名： | 王元虎 曲彦臣 赵卫疆 任德明 |
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| 摘 要： | 介绍了一种小型化火花预电离高能输出横向激励大气压(TEA)CO2激光器.激光器的主放电电极采取紧凑式Ernst电极,加大了电极间距,增大了激活区体积,从而提高了输出能量.激光器采用火花阵列预电离方式,有利于主放电均匀、稳定.低重复频率下,自由振荡情况下的输出能量可达到2 J.使用单片机控制的光栅调谐后,10P(20)谱线多模输出能量可达到1J,10 P(20)谱线输出脉冲宽度为100 ns.
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| 关 键 词： | 等离子体刻蚀 FTIR MCT探测器 检测 |
Miniature TEA CO2 laser with spark-array preionization |
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| WANG Yuan-hu,Qu Yan-chen,ZHAO Wei-jiang,REN De-ming. Miniature TEA CO2 laser with spark-array preionization[J]. Infrared and Laser Engineering, 2007, 36(Z1) |
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| Authors: | WANG Yuan-hu Qu Yan-chen ZHAO Wei-jiang REN De-ming |
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