| PtSi-SBD光腔结构的共振吸收模型 |
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| 引用本文： | 陈文彬,刘继琨. PtSi-SBD光腔结构的共振吸收模型[J]. 半导体光电, 2005, 26(Z1): 56-59 |
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| 作者姓名： | 陈文彬 刘继琨 |
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| 作者单位： | 电子科技大学,光电信息学院,四川,成都,610054 |
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| 基金项目： | CCD图像传感器国家级重点实验室 |
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| 摘 要： | 研究了PtSi-SBD的结构和光产额.由光产额模型可知,采用薄PtSi光腔结构和降低肖特基势垒可提高量子效率.利用光的共振吸收模型,通过计算机模拟计算表明,引入抗反射层,优化光腔结构可以大大提高光的吸收率.同时,PtSi膜厚在1～2 nm时,PtSi-SBD的量子效率系数最大.
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| 关 键 词： | PtSi 肖特基势垒 光腔 共振吸收 腔结构 共振 吸收模型 Structure Optical Cavity Absorption 效率系数 高量子效率 膜厚 吸收率 优化 反射层 计算表 计算机模拟 利用 肖特基势垒 PtSi 光产额 研究 |
| 文章编号： | 1001-5868(2005)S-0056-04 |
| 修稿时间： | 2004-11-22 |
Resonance Absorption of PtSi-SBD Optical Cavity Structure |
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| CHEN Wen-bin,LIU Ji-kun. Resonance Absorption of PtSi-SBD Optical Cavity Structure[J]. Semiconductor Optoelectronics, 2005, 26(Z1): 56-59 |
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| Authors: | CHEN Wen-bin LIU Ji-kun |
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