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位移台定位误差的二元函数分段插值快速补偿
作者姓名:朱维斌  朱善安  叶树亮  王皓
作者单位:浙江大学电气工程学院;中国计量学院计量测试工程分院;
基金项目:浙江省自然科学基金资助项目(Y6110170);国家质检总局公益性行业科研专项资助项目(201210001-3)
摘    要:以一维位移台为对象,将误差划分为与位置和位移速度相关的函数,在分析现有的一元、二元函数插值补偿方法的基础上,对一次函数分段插值补偿方法加以优化,建立了快速的二元函数补偿方法。实验数据显示,优化后的补偿方法同时补偿了位移平台的位置、速度相关的误差,补偿精度优于一元函数补偿方法,在保证补偿效果与传统二元函数方法相同的情况下,减小了1/3的补偿过程运算量。

关 键 词:位移台  误差补偿  分段插值法  二元函数
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