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| DELTA-F库仑式微量氧分析仪取样管线改造 | |
| 引用本文： | 李亚娜,张永凤,杨红燕,卢菊花,王桃萍. DELTA-F库仑式微量氧分析仪取样管线改造[J]. 低温与特气, 2016, 0(2): 46-48. DOI: 10.3969/j.issn.1007-7804.2016.02.013 |
| 作者姓名： | 李亚娜 张永凤 杨红燕 卢菊花 王桃萍 |
| 作者单位： | 昆明冶研新材料股份有限公司云南省光电子硅材料制备技术企业重点实验室,云南曲靖,655000 |
| 摘 要： | 介绍了DELTA-F库仑式微量氧分析仪的分析原理、结构特点及其在多晶硅生产中的应用情况。通过对取样管线的改进,解决了测量中存在的问题,更好的满足了生产需求。 |
| 关 键 词： | DELTA-F微量氧分析仪 管线改造 |
Transformation of Sampling Pipeline of Delta-F Coulomb Micro Oxygen Analyzer |
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