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| 气相色谱负压进样分析磷烷中的杂质 | |
| 引用本文： | 程鹏,席宏海,曾素芳.气相色谱负压进样分析磷烷中的杂质[J].低温与特气,2016(2):34-37. |
| 作者姓名： | 程鹏 席宏海 曾素芳 |
| 作者单位： | 爱尔兰AGC仪器有限公司北京代表处,北京,100076 |
| 摘 要： | 主要介绍配置DID氦离子化检测器、样品管道采取负压方式进样分析磷烷的原理及方法,一次进样同时检测出高纯磷烷中的微量杂质H_2、O_2+Ar、N_2、CH_4、CO、CO_2、Si H_4、As H_3。并验证方法的可行性。 |
| 关 键 词： | 氦离子化 负压 磷烷 色谱柱 |
Gas Chromatograph with Subatmospheric Pressure Sampling Analysis Impurities in PH3 |
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