| 微型光扫描器研究 |
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| 引用本文： | 黄鹰,向思桦,陈四海,赖建军,易新建. 微型光扫描器研究[J]. 红外与毫米波学报, 2007, 26(1): 26-29 |
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| 作者姓名： | 黄鹰 向思桦 陈四海 赖建军 易新建 |
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| 作者单位： | 华中科技大学光电子科学与工程学院,湖北,武汉,430074;武汉光电国家实验室,湖北,武汉,430074;华中科技大学光电子科学与工程学院,湖北,武汉,430074;华中科技大学光电子科学与工程学院,湖北,武汉,430074;图像识别和人工智能教育部重点实验室,湖北,武汉,430074 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目(60677025)，教育部2005年重点科技项目(105115) |
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| 摘 要： | 设计了由正负微透镜阵列和压电陶瓷驱动器组成的微型光扫描器,它工作于中、短波红外光及可见光等波段,微透镜阵列规模为256×256元、单元直径为50μm,扫描视场角约为6.6°,扫描频率可达200Hz,体积小到几个立方厘米.实验测试表明微扫描器的设计参数与实验测量结果基本相符.
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| 关 键 词： | 微透镜阵列 压电驱动器 微光机电系统 微型光扫描器 |
| 文章编号： | 1001-9014（2007）01-0026-05 |
| 收稿时间： | 2006-02-10 |
| 修稿时间： | 2006-11-15 |
STUDY ON MICROOPTICAL SCANNER |
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| HUANG Ying,XIANG Si-Hu,CHEN Si-Hai,LAI Jian-Jun,YI Xin-Jian. STUDY ON MICROOPTICAL SCANNER[J]. Journal of Infrared and Millimeter Waves, 2007, 26(1): 26-29 |
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| Authors: | HUANG Ying XIANG Si-Hu CHEN Si-Hai LAI Jian-Jun YI Xin-Jian |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | microlens arrays PZT actuator MOEMS microoptical scanner |
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