〈211〉方向InSb单晶横截面的均匀性研究

借助于低温下标准样品的霍耳测量分析方法,测定了[111]晶向同[211]晶向(111)面上的杂质浓度分布,为制得径向上杂质浓度分布较均匀的材料指出了一条有效途径。