Pb1—xLaxTiO3薄膜的制备及介电特性研究 |
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引用本文: | 朱卫东,郑分刚.Pb1—xLaxTiO3薄膜的制备及介电特性研究[J].材料科学与工程,2000,18(3):84-86. |
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作者姓名: | 朱卫东 郑分刚 |
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摘 要: | 用溶胶-凝胶法在Pt/Ti/SiO2/Si(100)基底上制备Pb1-xLaxTiO3(PLT,x〈0.2)薄膜,研究薄膜的结构及其介电、铁电性能。在600℃下退火1小时的PLT薄膜表现出单一的钙钛矿结构,(100)择优取向明显,在室温下PLT薄膜有典型的电滞回线。在x〈0.2(摩尔比)的范围内,PLT薄膜相对介电常数则随着La的增加而增加。
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关 键 词: | 溶胶-凝胶 PLT薄膜 铁电薄膜 介电特性 |
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