|
|||||
|
|
| 多晶硅生产中副产物SiCl4的综合利用 | |
| 作者姓名： | 肖顺珍 蒋云华 |
| 作者单位： | 江苏特华科技有限公司 |
| 摘 要： | 在氯化氢（HCl）合成制备三氯氢硅（SiHCl3）过程中，除主要产品SiHCl3外，还有大约15％左右的四氧化硅（SiCl4）副产品，另外还有二氯氢硅（SiH2Cl2）等。在SiHCl3氢还原中，还伴随有SiHCl3的热分解而生成的SiCl4、SiH2Cl2和HCl等， |
| 关 键 词： | SiCl4 多晶硅 综合利用 副产物 SiH2Cl2 生产 三氯氢硅 合成制备 |
| 本文献已被 维普 万方数据 等数据库收录！ | |