| 纳米级双面抛光机控制系统设计 |
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| 引用本文： | 胡晓珍,胡晓冬,李伟. 纳米级双面抛光机控制系统设计[J]. 机床与液压, 2009, 37(8). DOI: 10.3969/j.issn.1001-3881.2009.08.037 |
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| 作者姓名： | 胡晓珍 胡晓冬 李伟 |
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| 作者单位： | 浙江海洋学院,浙江舟山,316000;浙江工业大学,浙江杭州,310032 |
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| 基金项目： | 浙江省自然科学基金项目，浙江省科技厅重点项目，舟山市科技局项目 |
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| 摘 要： | 设计了纳米级双面抛光机的控制系统,对其实现方法进行了研究,分析了控制系统的组成,提出并建立了基于微机统一控制系统的解决方案.采用Windows CE软件平台,图形化界面功能指示、高可靠性的实时操作系统、高精度光栅传感器、压力传感器、数字阀组成电气联合控制系统,应用新型电气直接数字控制技术实现该机的自动加工.
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| 关 键 词： | 超精密 双面抛光机 直接数字控制 |
Control System Design of the Two-sided Polishing Machine at Nanometer Level |
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| HU Xiaozhen,HU Xiaodong,LI Wei. Control System Design of the Two-sided Polishing Machine at Nanometer Level[J]. Machine Tool & Hydraulics, 2009, 37(8). DOI: 10.3969/j.issn.1001-3881.2009.08.037 |
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| Authors: | HU Xiaozhen HU Xiaodong LI Wei |
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