| 非晶SiO_xN_y薄膜的发光特性研究 |
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| 引用本文： | 徐小华,李群,游泳,刘义保. 非晶SiO_xN_y薄膜的发光特性研究[J]. 现代制造工程, 2010, 0(5) |
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| 作者姓名： | 徐小华 李群 游泳 刘义保 |
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| 作者单位： | 东华理工大学物理系,抚州,344000 |
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| 基金项目： | 2008年教育部科技研究重点资助项目 |
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| 摘 要： | 采用双离子束溅射沉积法制备SiOxNy复合非晶薄膜,傅里叶变换红外光谱(FTIR)及X射线衍射谱(XPS)测试表明,薄膜成分由Si、O、N元素组成,在室温下可观察到样品有波长为400nm(紫光)、470nm(蓝光)的光致发光。根据测试结果分析研究SiOxNy薄膜的可能发光机理:波长为470nm处发光峰来自于硅基薄膜中中性氧空位缺陷(O2≡Si-Si≡O2),是由于氧原子配位的二价硅的单态-单态之间的跃迁所致,其发光强度随退火温度的升高而变化,800℃时最大,高于800℃时慢慢减弱;波长为400nm发光峰的发射与薄膜中的Si、O、N元素所形成的结构有关,它可能来自于Si、O、N元素结构所形成的发光中心,该峰位的强度随退火温度的升高而增强。
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| 关 键 词： | 非晶 薄膜 光致发光 |
Luminescence characteristic of amorphous SiOxNy thin film |
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| XU Xiao-hua,LI Qun,YOU Yong,LIU Yi-bao. Luminescence characteristic of amorphous SiOxNy thin film[J]. Modern Manufacturing Engineering, 2010, 0(5) |
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| Authors: | XU Xiao-hua LI Qun YOU Yong LIU Yi-bao |
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