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| 高精度平面度测量技术研究 | |
| 作者单位： | 北京机床研究所 |
| 摘 要： | 为解决高精度平面的测量提出了平直度光电组合测量法，开发了PG－1高精度平直度测量系统。平直度光电组合测量法和PG－1高精度平面度测量系统主要用于被测面能导电的中等尺寸工件的高精度平直度测量。系统采用双频激光直线光轴作为参考基准，进行单一线的连续非接触测量。通过若干测量线的相关检测构造出被测面的形貌，进而评定出符合国际规定的平面度或直线度误差。其主要技术指标如下：1．最大测量尺寸600×400mm2（平面度）或800mm（直线度）；2．测量分度值：0．01μm；3．量程：60μm或200μm；4．测量间隔：最小为1mm；5．测量不确… |
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