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光学薄膜的淀积
作者姓名:
吴宗兰
摘 要:
本文评述某些薄膜淀积工艺在制备光学薄膜中的可能应用,这些工艺可以归入离子辅助淀积技术大类。热蒸发是最通用的工艺并已发展到各方面的性能都很高的阶段。讨论了可作进一步改进的几个方面,特别是用离子辅助淀积技术进行这种改进的可能性。引言没有光学薄膜镀层,多数现代光学仪器就不能工作。薄膜镀层在减少反射,从而增加透
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