掩模版表面灰尘检查设备的优化

如今是经济和科技都飞速发展的时代,掩模版应用十分广泛,在涉及光刻工艺的领域都需要使用掩模版,传统的掩模版生产工艺中检测中需要将掩模版利用翻转检查机翻转180°,利用人眼去观察掩模版表面是否有灰尘和杂质,这种当前的检测方式费时费力,加强自动化,不仅可以最大程度消除一些认为因素所造成的误差,利用机器视觉去检测可以大大提高劳动生产率,获得更高的准确度。