| 陶瓷微结构的制作研究 |
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| 引用本文： | 王俊,刘刚,熊瑛,郭育华,朱学林,田扬超. 陶瓷微结构的制作研究[J]. 微细加工技术, 2006, 0(6): 40-43 |
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| 作者姓名： | 王俊 刘刚 熊瑛 郭育华 朱学林 田扬超 |
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| 作者单位： | 中国科学技术大学,国家同步辐射实验室,安徽,合肥,230029 |
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| 基金项目： | 高等学校博士学科点专项科研项目 |
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| 摘 要： | 研究了一种制作高精度、大高宽比高铝陶瓷微器件的工艺方法。首先利用同步辐射曝光,制作出带有微结构的PMMA模具。模压后,溶去模具,在1 700℃烧结成型。利用这种工艺,获得了宽度23μm,高度400μm的陶瓷微结构。同时,利用该工艺进行了陶瓷微反应器的初步研制,实现了陶瓷微管道的加工。
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| 关 键 词： | 陶瓷微结构 陶瓷微反应器 同步辐射曝光 压模 |
| 文章编号： | 1003-8213(2006)06-0040-04 |
| 修稿时间： | 2006-06-09 |
Study on Fabrication of Ceramic Micro-device |
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| WANG Jun,LIU Gang,XIONG Ying,GUO Yu-hua,ZHU Xue-ling,TIAN Yang-chao. Study on Fabrication of Ceramic Micro-device[J]. Microfabrication Technology, 2006, 0(6): 40-43 |
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| Authors: | WANG Jun LIU Gang XIONG Ying GUO Yu-hua ZHU Xue-ling TIAN Yang-chao |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | ceramic micro-device ceramic micro-reactor embossing |
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