| RF MEMS开关的静电斥力驱动研究 |
| |
| 引用本文： | 李梁,赵清华,于洋. RF MEMS开关的静电斥力驱动研究[J]. 传感器与微系统, 2018, 0(7): 15-17,21. DOI: 10.13873/J.1000-9787(2018)07-0015-03 |
| |
| 作者姓名： | 李梁 赵清华 于洋 |
| |
| 作者单位： | 太原师范学院管理系,山西晋中,030619太原理工大学信息工程学院,山西太原,030024 |
| |
| 基金项目： | 国家自然科学青年基金资助项目(51505324)，山西省国际科技合作计划项目(2013-036) |
| |
| 摘 要： | 针对射频微机电系统(RF MEMS)开关工作时因介质充电而发生“粘连”失效的问题,提出了利用静电斥力驱动替代传统的静电引力驱动方式,使RF MEMS开关在工作时介质层不存在电势差,从根源上消除介质充电.通过COMSOL仿真软件,分析了静电斥力的产生机理,重点探究了静电斥力驱动结构中尺寸参数对可动极板位移的影响,并通过结构优化有效降低了驱动电压,为开关后续设计提供了参考.
|
| 关 键 词： | 射频微机电系统 静电斥力 介质充电 |
Research on electrostatic repulsion actuating of RF MEMS switch |
| |
| LI Liang,ZHAO Qing-hua,YU Yang. Research on electrostatic repulsion actuating of RF MEMS switch[J]. Transducer and Microsystem Technology, 2018, 0(7): 15-17,21. DOI: 10.13873/J.1000-9787(2018)07-0015-03 |
| |
| Authors: | LI Liang ZHAO Qing-hua YU Yang |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | |
| 本文献已被 万方数据 等数据库收录！ |
|
